Precisie-kruistafel voor waferinspectie

De door ons geleverde LMX precisie-kruistafel wordt gebruikt voor de simultane inspectie van siliciumwafers.

De klantspecifiek vervaardigde kruistafel positioneert met µ-precisie in zowel de X- als Y-richting met zijn ultravlakke draai-as en werkt ook extreem snel met een versnelling van 1 G. Gebouwd op een graniet, vormen onze lineaire geleidingen, lineairmotoren en een draaitafel een bewegingseenheid. die Deze voert naast eenvoudige handlingstaken ook zeer nauwkeurige positioneringstaken uit met een minimale hoogte en een maximale holle as.

Gestandaardiseerde aandrijfcomponenten worden net als een bouwpakket op maat gemaakte precisiesystemen. U beschikt over een groot aantal geavanceerde gestandaardiseerde systemen. Deze kunnen dankzij hun modulaire opbouw worden aangepast voor elke toepassing. Onze experts construeren samen met u het passende concept voor uw precisiesysteem. Lees hier meer de uitvoerige informatie over onze precisieassen en precisiesystemen.

Vereisten:

• Tot op de µ exacte bewegingen
• Extreem hoge versnelling
• Hoogste precisie en herhalingsnauwkeurigheid

Toepassingen:

• Halfgeleiderindustrie